硅舟
采用高纯多晶、单晶硅为材料制造的硅舟、硅源管作为半导体器件生产制造过程硅片扩散的载体，相对于石英舟、石英管作为硅片扩散的载体具有杂质含量少、耐高温、不易变形等优势；相对于碳化硅舟、碳化硅管作为硅片扩散的载体又具有价格优势。公司硅舟、硅源管制造工艺先进、加工能力强，可根据客户的需要设计、制造和生产，产品质量可靠。
规格：
产品类型 | 导电类型 | 规格（mm） |
高纯单晶硅舟 | N&P | 76.2 – 150 |
高纯单晶硅源管 | N&P | 76.2 – 200 |
高纯多晶硅舟 | 76.2 – 150 | |
高纯多晶硅源管 | 76.2 - 200 |
